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本实用新型属于扫描电镜结构技术领域，具体公开了一种手动光学调节装置，包括镜框、水平顶丝、垂向顶丝和芯片基板，所述镜框中间开设有贯通的安装槽，所述安装槽的内侧壁上设置有多个凸台，所述芯片基板设置在安装槽的凸台上，所述镜框侧边靠近拐角的位置均匀开设有多个水平的连接槽，每个所述连接槽端部均开设有贯通所述安装槽的第一螺孔，并且所述镜框表面靠近上下两侧的位置对称开设有垂向的第二螺孔，第一螺孔中螺纹连接有水平顶丝，水平顶丝端部设置有半球头，半球头抵在芯片基板侧边，第二螺孔中螺纹连接有垂向顶丝；水平布置的八个
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN221039622U
(45)授权公告日2024.05.28
(21)申请号202323222617.1
(22)申请日2023.11.28
(73)专利权人上海大尘微影半导体科技有限公
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