有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
基板处理方法包括：第一蚀刻工序，在基板的整个表面形成有第一处理液的水坑的状态下，通过从喷嘴朝向在基板的表面局部地设定的目标区域局部地喷出第二处理液，来以目标区域的蚀刻速率与其它区域的蚀刻速率不同的方式进行蚀刻，以及第二蚀刻工序，通过一边使基板旋转一边以利用蚀刻液的液膜覆盖基板的整个表面的方式供给蚀刻液，来对基板的整个表面同时进行蚀刻，其中，在第一蚀刻工序中使用的第一处理液和第二处理液中的一方是蚀刻液，另一方是通过与蚀刻液混合来使利用蚀刻液对基板的表面进行蚀刻的蚀刻速率下降的蚀刻抑制液。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118103957A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202280068973.1(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事
文档评论（0）