紧密型低角度离子束提取组合件与处理装置.pdfVIP

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2024-05-29 发布于四川
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紧密型低角度离子束提取组合件与处理装置.pdf

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一种提取组合件可包括提取板，所述提取板用于沿着等离子体腔室的侧放置并且具有沿着第一方向伸长的提取开孔且具有沿着与第一方向垂直的第二方向延伸的开孔高度。所述提取板对位于第一平面中的沿着提取开孔的内表面进行界定。束阻挡器设置在提取开孔之上且具有设置在与第一平面不同的第二平面中的外表面。这样一来，所述束阻挡器沿着提取开孔的第一边缘与提取板重叠达第一重叠距离且沿着提取开孔的第二边缘与提取板重叠达第二重叠距离，以对沿着第一边缘的第一提取狭缝及沿着第二边缘的第二提取狭缝进行界定。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118103940A

(43)申请公布日2024.05.28

(21)申请号202280068986.9杰伊·R·沃利斯