减小重掺＜111＞晶棒宽面的拉晶方法.pdfVIP

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2024-05-29 发布于四川
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减小重掺＜111＞晶棒宽面的拉晶方法.pdf

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本发明提供一种减小重掺晶棒宽面的拉晶方法，涉及重掺单晶硅拉晶方法技术领域，将多晶硅料和掺杂剂放置在石英坩埚中，在氩气气氛下加热至稳定的熔硅；在稳定的熔硅中进行引晶、放肩，进入等径生长阶段；在等径的全阶段按照预定拉速曲线、预定补温曲线、预定初始埚位及埚跟比进行晶棒拉制，使得纵向温度梯度平稳且缓解晶棒生长界面的过冷度，防止宽面增大。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118087027A

(43)申请公布日2024.05.28

(21)申请号202410311083.XC30B29/06(2006.01)

(22)申请日2024.03.