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位置检测装置的存储部111存储模板组。该模板组包括选自基准模板和复数个偏移模板中的两个以上的模板,所述基准模板是根据所述图案的CAD数据即基准CAD数据生成的模板,所述复数个偏移模板是分别改变所述基准模板所包括的图案要素的线宽而形成的模板。模板选择部114针对由拍摄部3获取到的拍摄图像,使用上述模板组所包括的各模板进行图案匹配,并根据匹配分数从模板组选择适用模板。位置检测部115根据使用适用模板对拍摄图像进行图案匹配得到的结果,来检测基板的位置。由此,能够高精度地检测基板的位置。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118092079A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202311517375.0
(22)申请日2023.11.14
(30)优先权数据
2022-188314202
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