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一种涂覆的光学部件，包括光学部件和敷形涂层。所述光学部件是晶体氟化钙，以及所述敷形涂层是与光学部件的表面接触的原子层沉积(ALD)涂层。ALD涂层包括的金属氟化物ALD涂层具有不同于钙的金属。ALD涂层可以包括其他金属氧化物或类金属氧化物ALD涂层。用于制造该涂覆的光学部件的方法包括在光学部件的表面上沉积原子层沉积(ALD)涂层，其中ALD涂层可以是类金属氧化物、金属氧化物、具有不同于钙的金属的金属氟化物或这些的组合。在ALD工艺中使用六氟化硫作为氟源。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118076764A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202280067915.7(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公
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