H2-N2混合气体容性射频放电特性的PICMCC模拟的开题报告.docxVIP

H2-N2混合气体容性射频放电特性的PICMCC模拟的开题报告

一、研究背景

大气等离子体在现代工业和科技领域中具有重要的应用价值，如等离子体加工技术、化学反应、物理学研究等。其中，射频放电和容性放电是两种常用的等离子体制备方法，具有广泛的应用。尤其是射频放电技术在微电子器件、太阳能电池等领域中具有广泛的应用。

二、研究内容

本文主要研究H2-N2混合气体在容性放电和射频放电条件下的等离子体特性，利用PIC/MCC模拟方法模拟其电学性质、化学反应及能量转移过程，包括等离子体密度、电子温度等参数的分布情况和变化规律。同时，探讨不同气体比例、电极间距、频率等因素对等离子体特性的影响，以期更好地了解H2-N2混合气体在不同放电条件下的行为特性，为等离子体应用提供参考。

三、研究方法

本文采用基于PIC/MCC方法的等离子体模拟，即在PIC（粒子-电磁场）方法的基础上，加入MCC（蒙特卡罗碰撞）方法，模拟等离子体在外场影响下的动态演化过程。具体步骤包括：建立数学模型，设定电场和初始条件，采用时间步进算法，求解所需参数，最终得到等离子体的分布情况。

四、研究意义及预期目标

该研究将有助于深入了解H2-N2混合气体在容性放电和射频放电条件下的等离子体特性，为等离子体应用提供科学的理论依据和可行性参考。同时，通过探讨不同因素对等离子体特性的影响，可为等离子体设备的设计和优化提供参考。

五、预期进展及时间安排

研究将按以下步骤开展：

1.文献调研和搜集资料（1周）；

2.建立数学模型（2周）；

3.设定电场和初始条件（1周）；

4.利用PIC/MCC模拟方法求解（4周）；

5.数据处理与分析（2周）；

6.撰写论文（2周）。

六、参考文献

1.ZhonglinChen,ArtoMankinen.Comparisonoftemporalpropertiesofcapacitivelycoupledmicrowavedischargeindiamagneticandparamagneticgases.JournalofAppliedPhysics,2000.

2.K.Takaki,Y.Kobayashi,K.Tateishi,S.Ishii.PlasmaetchingofGaAsbyrfbiasedreactiveionbeam.JournalofVacuumScienceandTechnologyB,2009.

3.李畅,高教课新思想.等离子体科学与技术[M].北京市:科学出版社,2012.

4.李冬,胡蓉.等离子体模拟在材料加工中的应用概况[J].材料工程,2010.