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*欧阳光明*创编 2021.03.07
洁净室尘埃粒子检测标准操作规程
1.
欧阳光明(2021.03.07)
.目的：阐述洁净室(区)中悬浮粒子的测试方法，用以规范员工的检测操作。
.范围：适用于公司内部生产洁净区尘埃粒子检测工作
.责任：生产车间、生产部、质量管理部、QC检验室主任、检验员。
.测依据：
.内容：
仪器：光散射粒子计数器和滤膜显微镜。
光散射粒子计数器用于粒径三0.5xm；滤膜显微镜用于粒径三5xm的悬浮粒子的计数。使用光散射粒子计数器时应严格按照仪器说明书
操作。
测定标准
洁净度级别
悬浮粒子最大允许数/立方米6)
频次
^态b)
动态(b)
0.51mmd)
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