GB/T 43661-2024表面化学分析　扫描探针显微术　用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准.pdf

ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

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GBT436612024ISO130832015

表面化学分析扫描探针显微术

用于二维掺杂物成像等用途的

(,

电扫描探针显微镜如和

ESPMSSRM

SCM)空间分辨的定义和校准

——

SurfacechemicalanalsisScanninrobemicrosco

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(:,)

ISO130832015IDT

2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT436612024ISO130832015

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号和缩略语……………1

5基本信息…………………2

6锐边法测量SCM横向分辨……………4

7锐边法测量SSRM空间分辨……………7

()……………………

附录