一种碳化硅长晶装置、方法及电子设备.pdfVIP

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2024-03-30 发布于四川
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一种碳化硅长晶装置、方法及电子设备.pdf

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本申请提供一种碳化硅长晶装置、方法及电子设备。碳化硅长晶装置包括：长晶炉、坩埚、保温层及加热结构，长晶炉具有彼此相背的第一表面和第二表面，长晶炉设置有自第一表面向第二表面延伸的第一腔室，坩埚设置于长晶炉的第一腔室内，坩埚设置有自第一表面向第二表面延伸的第二腔室，第二腔室内用于盛放原料，保温层覆盖于坩埚朝向长晶炉内表面的表面，保温层对应长晶炉第二表面一端的厚度大于对应长晶炉第一表面一端的厚度，加热结构设置于长晶炉临近第二表面的位置，且部分加热结构位于长晶炉的外侧；其中，坩埚和保温层均采用石墨材料制

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115142124A

(43)申请公布日2022.10.04

(21)申请号202210799850.7

(22)申请日2022.07.08

(71)申请人江苏吉星新材料有限公司

地址21