一种晶圆检测系统及方法、宽谱相干光干涉自聚焦光路.pdfVIP

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2024-03-20 发布于四川
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一种晶圆检测系统及方法、宽谱相干光干涉自聚焦光路.pdf

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本申请提供一种晶圆检测系统及方法、宽谱相干光干涉自聚焦光路，应用于晶圆检测技术领域，采用宽谱相干光的干涉信号的强度作为自聚焦信号，检测光源根据实际需求灵活选取，自聚焦光与检测光通过二向色镜组合或者分束，具有光机结构简单、调试简单、聚焦速度快、普适性好等优点，解决了基于白光干涉自聚焦晶圆检测系统光机结构复杂、调试复杂、检测光源受限等缺点，能广泛应用于晶圆自动化检测中。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117723490A

(43)申请公布日2024.03.19

(21)申请号202410162686.8

(22)申请日2024.02.05

(71)申请人魅杰光电科技（上