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镀膜机常见故障及分析解决预防措施
一.常见故障,问题及解决方法
下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析,并给予解决方案及预防措施.
故
障
故障现象
故障原因
解决及预防措施
备注
点
1.高压
1.1.开枪有高压，无束流
灯丝保险烧断
灯丝烧断
南光枪枪体右边引
检查灯丝保险，烧断则更换
保险正常则检查灯丝更换枪体.
立
关压
即高
和束
流
线碰到枪体底坐
3.调整引线与枪体底坐的间距.
在抽气前检查枪体.
1.2.开高压显示跳动幅度大，并有束流跳动
束流控制调在手动，电位器未归零
枪体短路
高压电极保护罩或屏蔽碰到高压引线造成短路
电柜故障
电位器归零.在预熔完后应将灯丝电位器归零
将连接灯丝变压器的高压引线取下（注意引线不能碰到机器应悬空）开高压，正常则枪体或高压电极保护罩或屏蔽短路造成
放气检查电极保护罩或屏蔽
检修电柜
立关压
即高
1.3.开枪无高压，无束流
高压保护不到位（偏转.真空.柜门）
高压电路出问题
检查相应的高压保护
检修高压控制电路
1.4.镀膜时高压会
下跌
真空继电器烧坏
高压电路出问题
更换真空继电器
检修高压电路
常见4
号机
1.5.镀膜时灯丝突
1.BT138可控硅被击穿
1.更换BT138
常见4
然很亮(束流达到
满格)
2.枪体短路
2.检查枪体
号机
1.6有高压，有灯丝电流，无光斑
栅极片短路
扫描出问题或扫描线接反了
整理枪体
检修扫描，正确连接扫描线
1.7.束流上不去，达不到以前的水平
（同样功率达不到以前的速率）
灯丝位置不正或变形
灯丝被氧化
连接枪体的各接头松动
坩埚转速太快
材料被污染
晶片被挡住
重新安装或更换灯丝.为了更好的对灯丝定形及延长灯丝使用寿命,在更换新灯丝后应对灯丝进行预热处理
更换灯丝.为防止灯丝氧化在放气前应注意检查关闭灯丝电源开关
拧紧各连接处.
调整坩埚转速
取出被污染的材料或更换新材料
调整晶片挡板位置.抽气应检
1
7.电柜出问题
查晶片是否被挡
7.检修电柜
阻蒸电流调不 1.蒸发舟烧断或松掉 1.更换蒸发舟或拧紧螺钉.为了
上去 造成接触不良2.空气开关跳闸
防止接触不良，各电极和压块应清洗干净.更换在蒸发舟时应
调节电流的电位器 将铜压块取下砂干净再安装蒸坏了 发舟
铜电极与真空室底 2.打开空气开关板下的引线接触不良 3.更换电位器
4.清洁磨平接触不良的地方并拧紧螺钉
速率不稳定 1.晶片失效
料面不好
功率设置不合理
选择好的晶片，1.2枪的速率要匹配
料要加平整，养成停坩埚的好
控制参数PID设置不 习惯
合理 3.预熔功率及最大功率设置合
灯丝接触不好或老 理(最大功率为略大于蒸发时所
化
高压打火
需功率）
设置合理的PID参数
紧固或更换灯丝
解决打火现象
高压打火 1.枪体污染，杂物掉入 1.整理枪体，在吹枪体时应用吸
枪体
各接线处未拧紧
聚四氟套管太脏
尘器边吸使吹出的杂物吸走不被落在枪体里
拧紧各连接处，使其接触良好
枪体阳极，栅极变形 3.清洗或更换套管，应定时清洗
高压电极太脏
屏蔽不佳或未屏蔽
调整或更换阳极，栅极片
更换高压电极
7.光斑位置不合理，扫 6.调整屏蔽或加装屏蔽
描状态不好
8.2枪高压干扰
材料污染有杂物
高压打在10KV
预熔不够充分
功率设置不合理
调整好光斑，检查扫描
蒸镀1枪时应关闭2枪高压
将被污染的材料去除或更换新材料
将高压调在正确的档位（中档8KV）.在触摸屏上操作时(如调整坩埚转速时)应注意是否误碰到高压调节档位
预熔时间及加的束流应合理
（束流最后应加到接近镀第一套时所需束流坩锅转一到两圈）
设置合理的功率,预熔功率不应太大,最大功率应与速率相匹配,注意在第一套时速率较小
时功率的设置
时功率的设置
2
2.
2.扫描 2.1.光斑不能调整
1.扫描引线或线圈短
1.检查引线及线圈,引线间不能
和 光
路
碰在一起,抽气前应检查引线是
斑
2.整流桥击穿
否互相触碰和松动
3.引线或线圈断路
2.更换整流桥
4.遥控盒上的连线松
3.检查引线及线圈
脱或电位器坏了
4.接好连线或更换电位器
2.2 光斑及扫描状
态不好
灯丝变形
极靴位置不正
扫描频率不合适
短路条多或少了,位置不好
高压档位不对
扫描连接线有误
更换灯丝
调整极靴位置.在拆下清洗时要做好记号避免安装时位置不正
调整合适频率,频差和密度
调整短路条的位置及数量
调整正确的高压档位
正确连接扫描线,维修时应做好记号
3.坩埚
3.1 坩埚转动不灵
1.坩埚周边间隙太小
1.调整坩埚周边的间隙
和 工转
或不转
坩埚间隙有材料(卡料)
轴承锈死
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