一种MEMS陀螺仪及MEMS器件.pdfVIP

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2024-03-09 发布于四川
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一种MEMS陀螺仪及MEMS器件.pdf

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本发明涉及微机系统MEMS和微惯性测量技术领域，具体涉及一种MEMS陀螺仪及MEMS器件。所述MEMS陀螺仪包括硅基衬底、振环、若干个悬臂梁、若干个质量块和若干个金属薄膜电极，所述硅基衬底上设有圆孔，以所述圆孔内侧壁作为锚点连接若干个悬臂梁的第一端，所述若干个悬臂梁的第二端与振环外侧壁连接，所述振环内侧壁与若干个质量块连接；若干个质量块沿振环内侧壁均匀间隔分布，且若干个质量块的内侧面位于同一圆柱面上；若干个金属薄膜电极沿振环周向均匀间隔分布，金属薄膜电极端点位置与悬臂梁的第二端位置相对应。其结构

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117664092A

(43)申请公布日2024.03.08

(21)申请号202311663962.0

(22)申请日2023.12.06

(71)申请人重庆大学

地址400030