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本发明属于晶片生产制备领域，尤其涉及一种减薄工艺高精度上片装置，该上片装置包括吸盘，所述吸盘上连接有滑动轴，所述滑动轴外套接有轴承，所述轴承通过轴承固定件与吸盘连接；所述轴承固定件与吸盘之间设置有若干簧板，所述簧板的一端固定在球面轴承固定件上，另一端固定在吸盘的顶部，当所述轴承与吸盘发生相对运动时，所述簧板推动所述轴承恢复至原始位置。本发明能够减小活动轴和轴承之间的间隙误差，从而提高上片精度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117506715A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311366251.7H01L21/683(2006.01)
(22)申请日2023.10
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