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本发明提供了一种细晶钛硅靶材及其制备方法。该方法是以纯Ti粉和Ti5Si3合金粉末为原料，原料粉末经过球磨混合预处理后装包套进行真空热脱气处理，将脱气后的包套进行热等静压致密化处理，最后通过热处理稳定显微组织，减小内应力。本发明制备的钛硅靶材具有以下优点：(1)钛硅靶材只包含Ti相和Ti5Si3相两种物相，没有TiSi、TiSi2等其他物相；(2)钛硅靶材显微组织细小均匀，平均晶粒尺寸＜50μm；(3)钛硅靶材密度高，相对密度＞99％；(4)Ti相和Ti5Si3相分布均匀，无偏析；(5)硅元素含
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117403195A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202311252362.5
(22)申请日2023.09.26
(71)申请人
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