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2024-01-17 发布于四川
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探针卡.pdf

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本发明公开一种探针卡，包括探针导板和多个探针，探针导板上开设多个定位孔，探针一一对应地插在定位孔中，一端连接设置于芯片上的各个测试点，另一端连接于测试电路，在探针导板上开设连接孔，连接孔用于连通多个定位孔，在探针的插入方向上连接孔与定位孔贯穿探针导板，在与连接孔的延伸方向和插入方向均垂直的宽度方向上，连接孔与定位孔的连接处的第一宽度小于探针的第二宽度。本发明的技术方案通过在探针导板定位孔之间的连接孔实现对导板材料的空气填充以降低探针穿过空气部分与穿过探针导板部分之间的阻抗不连续性，提高探针卡在测

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117405949A

(43)申请公布日2024.01.16

(21)申请号202311084594.4

(22)申请日2023.08.25

(71)申请人上海嘉盛半导体有限公司

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