一种双工位单晶碳化硅抛光机.pdfVIP

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2024-01-17 发布于四川
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一种双工位单晶碳化硅抛光机.pdf

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本发明公开了一种双工位单晶碳化硅抛光机，涉及抛光机技术领域。本发明包括床身、压料龙门架和修盘机构，床身顶部固定有接液槽，接液槽轴心处设有主轴机构，主轴机构输出端固定有冷却盘，冷却盘顶部固定有铜盘，冷却盘内设有冷却流道，冷却盘上表面设有外流道，外流道通过连接口与冷却流道连通。本发明通过设计新型的压料龙门架，其中中空轴具备转动、升降和左右滑移的作用，从而可带动两个抛头和工件的转动和滑移，从而极大程度增加了工件和铜盘之间的接触面积，最大限度确保铜盘的使用寿命，减少更换修盘频次，确保抛光的均匀性，同时提

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117400136A

(43)申请公布日2024.01.16

(21)申请号202311326554.6B24B41/047(2006.01)