AMAT Endura2 AL HP Chamber 预防性维护保养手册.docxVIP

AMATEndura2ALHPChamber预防性维护保养手册

目录TOC\o1-1\h\z\u

2.目的 2

3.适用范围 2

4.相关术语 2

5.作业安全卫生与环保须知事项 2

6.维护频度的指定 3

7.定期维护操作流程 3

8.维护操作的Checklist 14

1目的

本手册是针对AMATEndura2ALHPChamber预防性维护保养的操作指导书。根据本手册进行设备的预防性维护保养,使之能够满足良好的稳定的工艺要求。

2适用范围

适用机台：AMALSAxx的ALHPChamber。

腔体结构与外观。(图1)

ChamberType

ChamberType

图1

相关术语：

术语

全称

描述

EMO

EmergencyOff

紧急停止按钮

PM

PreventiveMaintenance

预防性维护

MES

ManufacturingExecutionSystem

半导体制造执行系统

作业安全卫生与环保须知事项：

作业环保注意事项：

工艺废气排放：NA

工艺废水排放：NA

工艺噪音排放：NA

废物及处理方法：

项目

灰色垃圾桶

黄色垃圾桶

紫色垃圾桶

绿色垃圾桶

红色垃圾桶

无害废弃物

(氧化性)

(毒性)

(酸性)

(易燃性)

普通废弃物

★

沾有酒精

★

作业安全注意事项：

物理性危害：注意硬物碰伤或砸伤；搬运重物时防止扭伤或砸伤。

机械危害：注意运动部件机械压伤。

电气危害：DCPower,208VPower。

作业职业健康注意事项：

手部防护：乳胶手套。

脚部防护：钢包鞋。

眼部防护：防护眼镜。

操作人员应注意的安全事项：

所有操作人员必须通过适当的安全培训,了解所有操作环节中可能碰到的危险。

所有操作人员必须穿戴无尘室里允许的防护性的衣物,包括可能用到的专用手套。

保养前,要确保工作区域处于良好通风状况。

根据相应的规定,处理用过的无尘布。

预防措施：

在做设备维护前,在需要维护的Chamber周围放置安全锥。

紧急事故处理程序：

红色紧急关电装置(EMO)只用于当设备遇到严重故障,会危及人员,设备或产品时。

如果遇到紧急状况,马上通知ERC。(电话：55110)

项目

异常状况要素

紧急处理措施

标准操作流程

安全准备分析

1.

火灾

参考工安环保部门相应规范

a.马上通知周围人员

b.按紧急关电装置关闭设备(EMO)

c.关闭设备端气体源,通知厂务关闭厂务端气体源所有阀门

a.火警

b.知道灭火器位置及其使用方法

c.疏散路线

d.逃生门Exit

2.

地震

参考工安环保部门相应规范

a.按紧急关电装置关闭设备

b.寻找掩蔽处

c.根据情况逃生

a.疏散路线

b.逃生门

牢记紧急程序、急救箱的位置、灭火器的位置和使用方法。

发现危险状况,立即报告主管。

知道逃生路线和集合地点,勿阻塞紧急逃生路线,以免妨碍逃生。

维护频度的指定：

Tool名称

CH

ID

PM类型

PM目标(KWH)

PM频度

(KWH)

PM项目

PM所需时间

AMALSAxx

CH3

CH4

ProcessKitsPM

900

1400

ReplaceProcessKits

20小时

ShutterPM

350

300~400

ReplaceProcessKits

20小时

TargetPM

1800

1620~1890

ReplaceTarget

20小时

PM类型及频度

需要人数：2人

定期维护操作流程：

PM前的准备工作

准备需更换PartsList：

PMType

PartsList

AMATPN

VendorP/N（Target）

HLMCPN

Quantity

NeworRecycle

ProcessKitPM/

ShutterPM

DepositionRing

0200-07492

NA

CM0400131

1

Both

CoverRing

0021-84173

NA

CM0400151

1

Both

ShutterDisk

0021-26565

NA

CM0400111

1

Both

1-PieceShield

0021-45259

NA

CM0400101

1

Both

Target

PM

Target(Tosoh)

0190-23518

5955H-13-108-555

RT3000020

1

New

Target(Tosoh)

0190-23518

5958H-13-108-555

RT3000220

1

New

Target(Tosoh)

0190-23518

5958H-13-108-555

RT3000320

1

New

TargetO-R