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2024-01-13 发布于四川
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检查方案的自动优化.pdf

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提供了检查方案的自动优化的系统和方法。所述方法包括：获得一个或多个检验图像，每个检验图像表示半导体样本的至少一部分，一个或多个检验图像指示使用包括在检查方案中的第一分类器从缺陷图选择的相应缺陷候选；获得分别与一个或多个检验图像相关联并且提供相应缺陷候选的类型的信息的标签数据；提取表征一个或多个检验图像的检验特征；使用第一特征和标签数据重新训练第一分类器，从而产生第二分类器；以及通过用第二分类器替换第一分类器来优化检查方案；其中经优化的检查方案可用于检查后续的半导体样本。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117392073A

(43)申请公布日2024.01.12

(21)申请号202311297959.1

(22)申请日2021.05.28

(30)优先权数据