一种快照式椭偏测量方法及设备.pdfVIP

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2024-01-10 发布于四川
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一种快照式椭偏测量方法及设备.pdf

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本发明属于光学测量相关技术领域，其公开了一种快照式椭偏测量方法及设备，所述设备包括光源、起偏臂、检偏臂、探测器及数据处理器；所述光源通过光纤连接于所述起偏臂，所述检偏臂设置在所述起偏臂的光路上，所述探测器设置在所述检偏臂的光路上；所述数据处理器与所述探测器相连接；所述起偏臂包括依次沿光路设置的第一透镜、起偏器及第一相位延迟器；所述检偏臂包括沿光路依次设置的第二相位延迟器、检偏器及第二透镜。本发明中偏振器件仅仅只有两个相位延迟器和两个偏振片，能够测量大多数各向同性样品，如各向同性薄膜，并且无运动部

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117368114A

(43)申请公布日2024.01.09

(21)申请号202311188558.2G06N3/02(2006.01)

(22)申请日2023.09.1