用于量子电路的渐进热干燥室.pdfVIP

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2023-12-30 发布于四川
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用于量子电路的渐进热干燥室.pdf

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本文描述了能够渐进地热干燥量子电路的技术。惰性气体由加热器元件渐进地加热以提供加热的惰性气体。加热的环境空气和加热的惰性气体在加热通道中组合，使得加热的环境空气和加热的惰性气体的组合流入探针隔室以渐进地热干燥其中的量子电路。惰性气体的流率被控制为使该组合具有小于或等于阈值的相对湿度。可以将加热器元件的温度控制为大致等于在3.0℃的容差内渐进地增加的目标温度。可以基于检测到惰性气体来启动惰性气体的加热，并且可以自动地中止惰性气体的流动和加热。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117321428A

(43)申请公布日2023.12.29

(21)申请号202280035186.7(74)专利代理机构北京世辉律师事务所16093