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本发明提供了一种晶圆表面三维量测的方法及装置、系统、计算机程序产品,其中所述晶圆表面三维量测的方法,包括:测量数据采集:采集晶圆的表面图像和多维度测量数据;测量数据拟合:对所采集的晶圆的表面图像和多维度测量数据进行拟合,得到所述晶圆的表面3D数据;特征数据提取:根据特征项目的测量需求,从所述晶圆的表面3D数据中提取所需的特征数据;特征数据分类:设定特征项目的范围标准或者判定条件,将所述特征数据进行分类处理;测量结果显示:将所述特征数据按分类处理的结果分类直观显示。本发明所提供的晶圆表面三维量测的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117316790A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202311016168.7
(22)申请日2023.10.13
(71)申请人匠岭科技(上海)有限公司
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