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本实用新型公开了一种MPCVD设备用控温装置，属于MPCVD设备相关技术领域，包括MPCVD设备本体，MPCVD设备本体底部的外侧壁上固定安装有支腿，MPCVD设备本体的一侧设置有控温组件，控温组件包括制冷水箱、输出泵、外壳、制冷板、散热翅片、导流管、支撑弹簧、传动板、固定电极、移动电极和警示灯，导流管的一端穿设在MPCVD设备本体内，外壳固定安装在导流管的另一端上，支撑弹簧的一端固定安装在外壳底部的内侧壁上，制冷水箱的一端固定安装在支撑弹簧的一端，该一种MPCVD设备用控温装置，可通过导流管将
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220265843U
(45)授权公告日2023.12.29
(21)申请号202320422084.2
(22)申请日2023.03.02
(73)专利权人美若科技有限公司
地址276
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