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本发明提供了一种高效光栅耦合器，涉及集成光电子和光通讯技术领域，该高效光栅耦合器从下至上依次包括：衬底层、埋藏氧化物层、硅波导层、多晶硅层及顶部氧化物层；其中，硅波导层包括单模输出波导、过渡波导以及硅光栅，单模输出波导、过渡波导及硅光栅依次相连；多晶硅层包括多晶硅光栅，多晶硅光栅与硅波导层中的硅光栅在上下叠置，共同组成目标光栅；顶部氧化物层中包括有反射层，反射层至少能够覆盖目标光栅，通过对反射层的层数、位置和厚度的设计使入射光的反射光产生相消干涉，并将目标光栅反射向芯片外的光重新反射回目标光栅，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117250697A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311532605.0
(22)申请日2023.11.17
(71)申请人中国科学院半导体研究所
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