超洁净环境中的晶圆转运机械臂监测预警系统及方法.pdfVIP

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2023-12-16 发布于四川
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超洁净环境中的晶圆转运机械臂监测预警系统及方法.pdf

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本发明涉及转运监测预警技术领域，本发明公开了超洁净环境中的晶圆转运机械臂监测预警系统及方法；包括采集危险动作的综合危险参数，计算危险动作的危险系数，将危险系数与预设的危险阈值对比分析，生成危险转运提示，根据危险转运提示，生成危险调节指令；本发明能够基于模拟的危险动作对转运机械臂转运状态进行实时且准确的监测，并在发现危险动作及时的做出预警提示，同时在转运机械臂发生多种不同类型危险动作时，最短时间内综合分析出多种危险动作的危害程度，对转运机械臂进行相适应的调节控制，避免转运机械臂在转运晶圆时与障碍物

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117226848A

(43)申请公布日2023.12.15

(21)申请号202311468427.X

(22)申请日2023.11.07

(71)申请人泓浒（苏州）半导体科技有限公司

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