一种12英寸单晶硅棒放肩工艺方法.pdfVIP

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2023-12-13 发布于四川
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一种12英寸单晶硅棒放肩工艺方法.pdf

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本发明属于单晶硅技术领域，具体涉及一种12英寸单晶硅棒放肩工艺方法。包括引晶工艺完成后，主加热器功率达到稳定值，单晶炉加热功率分步逐降13KW，放肩头部进行高锅转，随着放肩的增长过程进行降埚转，根据肩部长度调整籽晶拉速从高拉速降至低拉速，再从低拉速升至高拉速的过程。本发明提供的放肩工艺方法，结合直径斜率降温法通过埚转的速度变化进行放肩，有利于径向温度的均匀性，提高放肩成活率，解决12英寸单晶硅棒生产放肩困难的问题。本发明采用的放肩工艺方法制备单晶硅棒，能够有效提高12英寸单晶硅棒棒放肩成活率，降

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117210932A

(43)申请公布日2023.12.12

(21)申请号202310874904.6

(22)申请日2023.07.17

(71)申请人青海高景太阳能科技有限公司

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