一种线源坩埚实时遮盖结构.pdfVIP

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2023-12-13 发布于四川
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一种线源坩埚实时遮盖结构.pdf

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本发明提供一种线源坩埚实时遮盖结构，包括有加热源本体，加热源本体开设有坩埚放置槽，加热源本体顶部连接有上盖总成，上盖总成包括有箱体，箱体包括有底板、隔板以及侧部限制板，两个侧部限制板分别安装在隔板的两侧，每一槽体底部均开设有坩埚喷嘴口；上盖总成还包括有遮盖板，遮盖板与槽体一一对应设置，遮盖板与侧部限制板活动连接，上盖总成还包括有开闭驱动机构。通过本专利的结构，能有效的消除坩埚之间切换的时间，以及坩埚切换中材料的浪费。既降低了生产时间、材料成本，又改善了产品效果。由于无需预留遮盖板的更换位置，可使

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117210791A

(43)申请公布日2023.12.12

(21)申请号202310963681.0

(22)申请日2023.08.02

(71)申请人福建华佳彩有限公司

地址351