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本公开的实施例涉及应用到MEMS麦克风系统的电容线性化方法。一种麦克风包括：微机电系统(MEMS)器件，响应于声波或振动、具有耦合到第一节点的输出；可编程增益放大器或源极跟随器，具有耦合到第二节点的输入以及用于生成模拟信号的输出，其中MEMS器件输出和可编程增益放大器或源极跟随器输入包括具有第一电容‑电压(CV)分布的第一非线性等效电容；以及非线性电容组件，耦合到第一节点、第二节点，以及至少一个参考电压节点，其中非线性电容组件包括具有第二CV分布的第二非线性等效电容。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117221802A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202310680866.0
(22)申请日2023.06.09
(30)优先权数据
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