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本发明提供搬送单元和加工装置,该搬送单元能够使被加工物或者包含被加工物的框架单元的下表面干燥并且抑制生产率降低,该加工装置包含该搬送单元。在按照被加工物或者框架单元的行进方向前侧比行进方向后侧靠上方的方式倾斜的状态下进行空气向被加工物或者框架单元的下表面的喷射。在该情况下,例如附着于被加工物或者框架单元的下表面的液体(例如,加工液)一边沿着下表面一边朝向被加工物或者框架单元的行进方向后侧流动,容易从其后端落下。因此,在这样搬送被加工物或者框架单元的情况下,能够增大被加工物或者框架单元的移动速度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117219536A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202310675555.5
(22)申请日2023.06.08
(30)优先权数据
2022-093843202
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