电子级氨水标准文本.pdfVIP

电子级氨水 警示——本文件并未指出所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施， 并保证符合国家有关法规规定的条件。 1 范围 本文件规定了电子级氨水的命名、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、 贮存和随行文件、安全。 本文件适用于以工业级液氨和超纯水为原料，经纯化制得的电子级氨水。主要用作集成电 路（半导体）、印刷电路板等制程用化学品。 CAS号：1336-21-6 分子式：NH OH 4 相对分子质量：35.05 （按2022 年国际相对原子质量） 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的 引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有 的修改单）适用于本文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 601 化学试剂标准滴定溶液的制备 GB/T 602 化学试剂 杂质测定用标准溶液的制备 GB/T 603 化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 9725—2007 化学试剂 电位滴定仪通则 GB/T 23770—2009 液体无机化工产品色度测定通用方法 GB/T 9726 化学试剂 还原高锰酸钾物质测定通则 GB/T 6678 化工产品采样总则 GB/T 6680 液体化工产品采样通则 GB/T 6682 分析实验室用水规格和试验方法 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB 50073 洁净厂房设计规范 GB/T 11446.1—2013 电子级水 GB/T 11446.7—2013 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法 GB/T 11446.8—2013 电子级水中总有机碳的测试方法 GB 18191—2008 包装容器 危险品包装用塑料桶 GB/T 13508—2011 聚乙烯吹塑容器 SJ/T 11637—2016 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 分级及命名 电子级氨水分为Ⅰ级、Ⅱ级和Ⅲ级共 3 个等级。Ⅰ级电子级氨水标记为：UP- Ⅰ；Ⅱ级电子级 氨水标记为：UP- Ⅱ；Ⅲ级电子级氨水标记为：UP-Ⅲ。 注： UP -Ⅱ 级和UP -Ⅲ 级主要用于半导体常规制程及高制程面板行业，UP -Ⅰ级主要用于半导体先进制程 行业。 5 技术要求 电子级氨水的技术指标应符合表1的规定。 表1 电子级氨水的技术指标 指 标 项 目 UP-Ⅰ UP-Ⅱ UP-Ⅲ 外观 无色透明液体，无可见机械杂质 氨含量（以NH 计），/% 28.0 30.0 3 ～ 碳酸盐 （以CO3计），mg/kg ≤ 1 10 20 色度，Hazen单位（铂-钴色号) ≤ 3 5 10 还原高锰酸钾物质，mg/kg ≤ 0.5 0.5 0.5 - 氯化物（以Cl 计），μg/kg