GB/T 25915.1-2021洁净室及相关受控环境　第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级.pdf

ICS 13.040.35 CCS C 70 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T 25915.1—2021 代替 GB/T 25915.1—2010 洁净室及相关受控环境 第 1部分： 按粒子浓度划分空气洁净度等级 Cleanrooms and associated controlled environments—Part 1:Classification of air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-1:2015,MOD) 2021-08-20发布2 0 2 2 - 0 3 - 0 1 实 施 2021-08-20发布 国家标准化管理委员会国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 I GB/T 25915.1—2021 目 次 前言 Ⅲ 引言 V 1 范 围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 分级 4 5 符合性的证明 5 附 录A (规范性) 按粒子浓度划分空气洁净度的基准方法 7 附 录B (资料性) 等级划分计算实例 11 附录 C (资料性) 悬浮大粒子的计数和测径 17 附录 D (资料性) 序贯采样法 21 附录 E (资料性) 非整数洁净度等级和粒径阈值的说明 27 附录F (资料性) 检测仪器 29 参考文献 30 Ⅲ GB/T 25915.1—2021 前 言 本文件按照 GB/T1.1—2020《 标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。 本文件是GB/T25915《 洁净室及相关受控环境》的第1部分。GB/T 25915已经发布了以下部分： ——第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级； ——第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测； ——第3部分：检测方法； ——第4部分：设计、建造、启动； ——第5部分：运行； ——第6部分：词汇； ——第7部分：隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境); ——第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC) 等级； ——第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级； ——第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级； ——第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。 本文件代替 GB/T 25915.1—2010《洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级》,与 GB/T 25915.1—2010相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下： a) 第1章增加了粒子测定仪器要求(见第1章); b) 增加了“规范性引用文件”(见第2章); c) 第3章术语和定义中： ——修改了洁净室、洁净区、分级、粒子等定义(见3.1.1、3.1.2、3.1.4、3.2.1,2010年版的2.1.1); ——删除了超微粒子、纤维、U 描述符、需方、供方等术语(2010年版的2.2.5、2.2.7、2.3.1、 2.5.1、2.5.2); 增加了单向流、非单向流、分辨率、最大允许测量误差、光散射(离散式)空气悬浮粒子计数 器、离散大粒子计数器、飞行时间测径仪等定义(见3.2.7、3.2.8、3.4.1、3.4.2、3.5.1、3.5.2、 3.5.3); d) 增加了表1的注释(见表1); e) 增加了明确应用粒径范围(见4.2); f) 增加了非整数洁净度等级和粒径阈值(见4.5); g) 修改了附录 B、附录C 的内容并整合到规范性附录 A(见附录A,2010 年版的附录 B、附录C); h) 将附录 D 的内容充实到附录 B(见附录B,2010 年版的附录D); i) 删除附录 E 中超细粒子内容、丰富了大粒子的计数和测径技术要求整合到附录C(见附录 C, 2010年版的附录 E); j) 修改了附录 F 并整合到附录 D 中(见附录F,2010 年版的附录 D); k) 增加了非整数洁净度等级和粒径阈值说明(见附录E); 1) 删除了附录 A“洁净度等级图示”(见2010年版的附录 A)。 本文件修改采用ISO14644-1:2015《洁净室及相关受控环境 第1部分：按粒子浓度划分空气洁净 度等级》。 本文件与ISO 14644-1:2015 的技术差异及其原因如下： IV GB/T 25915.1—2021 ——修改了规范性附录 A 中的公式(A.1) 。 原因是公式(A.1) 适合于面积较小洁净室，对于我国 10000 m2以上大规模和超大规模洁净室，则暴露出其采样点过多和未采用较为合理抽样统 计原理的问题