连续化学气相沉积厚带界面涂层的制备装置及其制备方法.pdfVIP

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2023-11-04 发布于四川
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连续化学气相沉积厚带界面涂层的制备装置及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种连续化学气相沉积厚带界面涂层的制备装置及其制备方法，该装置的沉积反应腔室的上壁与下壁之间形成V形结构，V形结构的宽端设置两个分气盒，纤维厚带依次穿过预加热脱胶模块和沉积反应腔室。该方法包括以下步骤：烘干纤维厚带，穿过脱胶模块和腔室，从分气盒向腔室内通入氮气；从分气盒和氮气通入管向腔室内通入氮气，对腔室和脱胶模块加热；分别从两个分气盒向腔室内通入先驱体气体，使纤维厚带连续穿过腔室；关闭加热模块和脱胶模块，停止通入先驱体气体，从分气盒和氮气通入管向腔室内通入氮气，即可获得连续化学气相

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116986916 A (43)申请公布日 2023.11.03 (21)申请号 202311254213.2 (22)申请日 2023.09.27 (71)申请人中国航发北京航空材料研究院地址