基于有机硅烷获得高Q值石英半球谐振子表面镀Au膜方法.pdfVIP

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2023-11-01 发布于四川
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基于有机硅烷获得高Q值石英半球谐振子表面镀Au膜方法.pdf

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本发明属于谐振陀螺精密制造技术领域，解决石英半球谐振子表面低损耗镀Au膜的问题，本发明涉及一种基于有机硅烷获得高Q值石英半球谐振子表面镀Au膜方法，包括：将半球谐振子放在清洗工装上，依次采用丙酮、异丙醇、酒精和去离子水进行超声清洗，随后在烘箱中烘干待用，去除表面吸附水分子；采用食人鱼溶液对谐振子表面进行羟基化处理，在谐振子表面形成均匀的羟基；采用有机硅烷对谐振子表面进行氨基化处理，在谐振子表层形成一层有机硅烷分子；将氨基化谐振子冲洗干净并吹干；将氨基化谐振子放在镀膜机中镀Au薄膜，使氨基与Au薄

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116970910 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202310739487.4 (22)申请日 2023.06.21 (71)申请人中国船舶集团有限