光学显微镜下原位微纳划痕测试装置及方法.pdfVIP

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2023-11-01 发布于四川
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光学显微镜下原位微纳划痕测试装置及方法.pdf

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本发明涉及一种光学显微镜下原位微纳划痕测试装置及方法，属于材料微纳力学性能测试领域。该装置包括底座、压电精密加载单元、大行程压电粗进给单元、两向力传感器单元、载物台、压电精密划痕单元。压电精密加载单元、压电精密划痕单元分别固定在底座上；大行程压电粗进给单元固定在压电精密加载单元上；两向力传感器单元固定在大行程压电粗进给单元上；载物台上方开有观察窗，固定在压电精密划痕单元上。本发明对测试条件要求不高，只需要与普通的光学显微镜配套使用即可进行原位微纳划痕试验，并获得划痕过程中材料与压头接触区域的实时

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116973215 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202310960346.5 (22)申请日 2023.08.01 (71)申请人吉林大学地址 130000