多层结构电容阳极及其制备方法、位敏阳极探测器.pdfVIP

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2023-11-01 发布于四川
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多层结构电容阳极及其制备方法、位敏阳极探测器.pdf

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本发明公开了一种多层结构电容阳极及其制备方法、位敏阳极探测器，以解决电容阳极的电荷收集效率低且结构稳定性差的问题。具体包括底层电介质和设置在底层电介质上方的镜像电荷读出单元，设置在底层电介质和镜像电荷读出单元之间的K层第一电极层，及分别设置在相邻两个第一电极层之间的K‑1层第二电极层；K≥2且为整数；第一电极层与第二电极层之间设有中间层电介质；第二电极层上设置信号读出电极；底层电介质和各个中间层电介质上分别对应设置有四个电极孔，用于将信号读出电极引出；镜像电荷读出单元包括感应层基底；感应层基底上

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116972967 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202310902474.4 (22)申请日 2023.07.21 (71)申请人中国科学院西安光