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本发明的一个目的是提供破损少的蒸镀掩模,蒸镀掩模具有:薄膜状的掩模主体;设置在掩模主体的周围的保持框;和连接掩模主体与保持框的连接部件,掩模主体包括:具有第1图案部的第1区域、包围第1区域且具有第2图案部的第2区域;和包围第2区域的第3区域,第1区域和第2区域配置在基准框内。另外,蒸镀掩模的掩模主体的第1区域与第2图案部隔开间隔,此外,蒸镀掩模中,第2区域外接于掩模主体的第1区域的外形。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116970900 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202310406122.X (22)申请日 2023.04.17 (30)优先权数据 2022-074345 202
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