一种多偏振分解谐波显微成像装置及方法.pdfVIP

下载本文档

3
0
约1.16万字
约 11页
2023-10-04 发布于四川
举报
版权申诉

一种多偏振分解谐波显微成像装置及方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及一种用于二维半导体晶体缺陷检测的多偏振分解谐波显微成像装置及方法，属于光学显微成像技术领域。本发明装置包括激光光源系统、多偏振生成系统、谐波信号激发系统、信号探测系统以及控制与数据处理系统。本发明采用不同角度线偏振态激发光、不同旋向圆偏振光以及径向偏振光对二维半导体进行谐波信号激发，并扫描形成谐波图像，接着在探测端进行不同模式的偏振探测。进一步对不同旋向圆偏振激发的谐波图像提取差异图像。本发明利用谐波信号的相干特性，以及对激发光偏振态的敏感性，通过扩展入射光偏振态，并对相应谐波显微图像

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116840257 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310807279.3 (22)申请日 2023.07.04 (71)申请人哈尔滨工业大学地址 15000