一种集成射频相变开关、天线和滤波器的器件及其制备方法.pdfVIP

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2023-10-04 发布于四川
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一种集成射频相变开关、天线和滤波器的器件及其制备方法.pdf

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本发明涉及一种集成射频相变开关、天线和滤波器的器件。该器件至少包括衬底，衬底上开设有电磁波辐射缝隙和两排阵列化的金属通孔，每个金属通孔为一个谐振腔，两排互相对立的金属通孔组成谐振器，通过多组谐振器实现滤波功能；电磁波辐射缝隙位于谐振器的末端且和最后一级SIW的耦合系数等于滤波器最后两级SIW的耦合系数，电磁波通过缝隙向外辐射实现天线功能；衬底的一侧面沉积有隔离层，隔离层上制备有基于相变材料的射频开关和作为SIW器件上层电极的金属层A，金属层A通过空气桥走线与射频开关连接。本发明在同一衬底上实现滤

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116847724 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310770628.9 (22)申请日 2023.06.27 (71)申请人湖北九峰山实验室