一种电容薄膜真空计及其制备方法.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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一种电容薄膜真空计及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种电容薄膜真空计及其制备方法，该真空计包括上壳体、下壳体和位于两者之间的感压膜片，所述感压膜片和下壳体为金属材质，感压膜片和下壳体焊接在一起形成了检测腔，所述下壳体底部焊接有连接管，通过连接管连接检测腔和待测真空腔体；所述上壳体由绝缘材料制成，所述上壳体粘接于感压膜片或下壳体上，所述上壳体与感压膜片之间形成参考腔；所述上壳体的顶部内壁镀有固定电极，所述固定电极通过引出电极将电容变化信号引出至参考腔外部，所述上壳体上设置抽气口和吸气剂，所述参考腔为真空状态。本发明所公开的电容薄膜真空

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116818181 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310819607.1 (22)申请日 2023.07.06 (71)申请人山东大学地址 266200