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2023-09-30 发布于四川
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本发明提供一种磁控装置，包括：线圈组件；线圈组件用于套设于单晶硅设备外侧，线圈组件沿单晶硅设备的轴向可移动；线圈组件包括多个主线圈，多个主线圈沿单晶硅设备的周向排布，其中，主线圈产生的磁场沿单晶硅设备径向分量强度大于其沿单晶硅设备的轴向分量强度。如此配置，主线圈产生的磁场沿单晶硅设备的径向分量强度大于其沿单晶硅设备的轴向分量强度，使得磁场的径向分量强度得以提升，能够有效抑制熔体边缘自然对流，并灵活控制晶体中的氧、碳等杂质含量和径向均匀性；此外，线圈组件沿单晶硅设备的轴向可移动，进一步提升了磁控装

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116825472 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310769799.X H01F 6/06 (2006.01) (22)申请日 2023.06.2