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本发明涉及一种单旋转椭偏系统的校准方法，包括：获取双旋转系统的第一系统参数，并利用双旋转系统测量多个标准样件的拟合厚度；将所述双旋转系统切换为单旋转系统，测量多个标准样件的光强信息，并将所述光强信息进行傅里叶变换处理得到第二傅里叶系数；利用第二傅里叶系数、第一系统参数以及拟合厚度，对第一系统参数进行逐一拟合迭代替换，直到除厚度和入射角以外的第一系统参数全部更新为止，得到单旋转系统参数；利用更新后的单旋转系统测量待测样件的光强信息，对待测样件的光强信息进行傅里叶变换得到第三傅里叶系数；利用单旋转系
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116817768 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310574311.8 (22)申请日 2023.05.20 (71)申请人 武汉颐光科技有限公司 地址 43
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