一种双轴织构的氧化镍缓冲层及其制备方法和应用.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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一种双轴织构的氧化镍缓冲层及其制备方法和应用.pdf

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本发明提供了一种双轴织构的氧化镍缓冲层及其制备方法和应用，涉及涂层导体制备技术领域。本发明提供的双轴织构的氧化镍缓冲层的制备方法，包括以下步骤：将镍合金在还原性气氛中进行再结晶退火处理，得到双轴织构化镍合金；将所述双轴织构化镍合金在氧化性气氛中进行氧化处理，得到双轴织构的氧化镍缓冲层。本发明利用可控氧化再结晶织构法制备氧化镍缓冲层，制备得到的氧化镍缓冲层具有良好的c轴取向，且表面粗糙度较低，具有良好的面内、面外生长织构。且其制备工艺简单，操作控制简易，成本低，对环境友好，适宜大规模应用。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116815108 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310841606.7 (22)申请日 2023.07.11 (71)申请人西安理工大学地址 710048