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一种物理量传感器组件、倾斜仪以及构造物监视装置,提供够校正物理量传感器的输出信号的非线性的技术,而不使物理量传感器组件大型化。物理量传感器组件(1)具备:频率变化式物理量传感器(3),频率根据物理量的变化而变化;基准信号振荡部(5),输出基准信号;频率Δ‑Σ调制部(10),使用基于作为频率变化式物理量传感器(3)的输出的被测量信号的动作信号,通过对基准信号进行频率Δ‑Σ调制,生成频率Δ‑Σ调制信号;第一低通滤波器(20),设置于频率Δ‑Σ调制部(10)的输出侧,与作为频率变化式物理量传感器(3)
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116817879 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310835489.3 (22)申请日 2019.04.19 (30)优先权数据
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