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本申请涉及截止阀领域，公开了一种二段式角阀，包括阀体、主阀瓣、主阀杆和第一驱动机构，阀体上设置有主进气口和主出气口，第一驱动机构驱动主阀瓣封堵主进气口，主阀瓣内开设有副进气口和副出气口，副进气口的口径小于主进气口的口径，主阀杆内滑动设置有副阀杆，副阀杆上设置有副阀瓣，阀体内设置有驱动副阀瓣封堵副进气口的第二驱动机构。本申请具有先采用副进气口对真空腔室进行初步进气，降低了真空腔室内外压力差，再采用主进气口，完全破除真空腔室的真空状态，真空腔室内外的气压差降低，使得大流量空气的流速大大降低，从而使得
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116817003 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310877702.7 (22)申请日 2023.07.17 (71)申请人 日扬电子科技（上海）有限公司 地址
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