单晶炉拉制单晶棒所用的组合式坩埚.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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单晶炉拉制单晶棒所用的组合式坩埚.pdf

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本发明涉及单晶炉拉制单晶棒所用的组合式坩埚。该组合式坩埚具有耐高温且易导热的内坩埚（1）、外坩埚（2）和中间填料层（3）；内坩埚（1）设置在外坩埚（2）中，且两者之间留有作为填料缝（4）的缝隙。内坩埚（1）包括耐高温保护层（12）和同质一体件的坩埚主体（11）。坩埚主体（11）为石墨坩埚、碳化硅坩埚、氮化硅坩埚或氮化硼坩埚；耐高温保护层（12）为涂层，覆盖固定在坩埚主体（11）的内壁上，而对坩埚主体（11）的内壁起到密闭作用。中间填料层（3）设置在填料缝（4）中并塞紧在内坩埚（1）与外坩埚（2）

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116815300 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310763640.7 C30B 29/06 (2006.01) (22)申请日 2023.06.