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本实用新型提供一种硅片机器人夹爪机构,包括:动力单元、抓取夹爪和夹爪连接板,所述夹爪连接板的底部设置有所述动力单元,所述动力单元的两侧各设置有一个所述抓取夹爪,用于驱动所述抓取夹爪;所述抓取夹爪上设置有多个与多种尺寸硅片相配合的片篮夹块。本实用新型的有益效果是通过夹爪连接板、抓取气缸、抓取夹爪以及多种尺寸片篮夹块的设置,实现了一种气缸一个行程可兼容多种尺寸片篮的功能,两种功效合二为一,节省物料的同时提高节拍效率,实现设备的自动化和智能化;用一种结构实现多种尺寸片篮的夹取动作,使之合并为一个动作,
(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219726274 U (45)授权公告日 2023.09.22 (21)申请号 202320672655.8 (22)申请日 2023.03.30 (73)专利权人 天津环博科技有限责任公司 地址
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