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本发明公开了一种复合基板及其制造方法,本发明所提供的复合基板及其制造方法藉由在载板及基板间设置复数中间层,不但得以确保层体间有良好的键结作用力,更得以调控层体间的热膨胀系数差异,进而避免基板容易断裂等缺陷。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116779550 A (43)申请公布日 2023.09.19 (21)申请号 202210263542.2 (22)申请日 2022.03.09 (71)申请人 鸿创应用科技有限公司 地址 中国
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