掩膜版及掩膜装置.pdfVIP

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2023-09-16 发布于四川
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掩膜版及掩膜装置.pdf

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本公开涉及一种掩膜版及掩膜装置。掩膜版包括：图案区域和位于所述图案区域的边缘的第二肋，图案区域包括：多个开口，相邻的开口通过第一肋隔开；其中，所述多个开口中的至少一个开口具有非平直的侧边、与所述非平直的侧边相交的两个第一平直侧边和位于所述非平直的侧边的对侧、且与所述第一平直侧边相交的第二平直侧边，在所述第二肋上设有用于对所述非平直的侧边进行拉伸变形补偿的开孔，所述两个第一平直侧边沿第一方向向所述第二肋延伸的延伸线与所述第二肋相交得到第一区域，所述开孔至少位于所述第一区域内，所述第一方向与所述第一

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210420132 U (45)授权公告日 2020.04.28 (21)申请号 20192