一种分段连接的化学气相沉积反应器.pdfVIP

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2023-09-14 发布于四川
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一种分段连接的化学气相沉积反应器.pdf

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本实用新型涉及一种分段连接的化学气相沉积反应器，包括反应器主体和加热装置，所述反应器主体包括若干个上下连接的分壳体段，所有分壳体段同心设置，所述加热装置包括若干个上下连接的分加热器，每个分加热器包围在一个或多个分壳体段的外部四周；相邻的分壳体段之间通过法兰连接。所述反应器主体的分壳体段通过分段加工，保证每段的同心度，能更好的保证整个反应器主体的同心度和精密度，使得反应器主体的尺寸能够做得比较大。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219670638 U (45)授权公告日 2023.09.12 (21)申请号 202320124021.9 (22)申请日 2023.01.11 (73)专利权人赢纳材料科技（镇江）有限公司