GB/T 42659-2023表面化学分析　扫描探针显微术　采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准.pdf

ICS71.040.40 CCSG04 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT42659 2023ISO119522019 表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量: 测量系统校准 — — Surfacechemicalanalsis Scannin robemicrosco Determinationof y gp py : eometric uantitiesusin SPM Calibrationofmeasurin sstems g q g gy ( : , ) ISO119522019IDT 2023-08-06发布 2024-03-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — / : GBT42659 2023ISO119522019 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅳ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 符号 ……………………………………………………………………………………………………… 2 5 SPM的特性……………………………………………………………………………………………… 3 5.1 SPM的组成 ………………………………………………………………………………………… 3 5.2 SPM的计量学分类 ………………………………………………………………………………… 4 5.3 SPM结构框图 ……………………………………………………………………………………… 5 5.4 校准时间间隔 ……………………………………………………………………………………… 6 6 测量系统特性的初步研究 ……………………………………………………………………………… 6 6.1 待研究的仪器特性及影响因素通则 ……………………………………………………………… 6 ( 、 、 、 、 )…… 6.2 测量系统干预后的等待时间 如仪器安装 内在效应 操作执行 预热 针尖样品更换等 7 6.3 外部影响 …………………………………………………………………